低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的着火电压时，气体分子被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体有机废气处理解决方案。低温等离子体降解污染物是利用这些高能电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。低温等离子体空气净化设备能够治理的污染有：VOCs、恶臭气体、异味气体、油烟、粉尘，也可用于消毒杀菌，而是对于浓度比较高的废气类型处理效果有一定局限性的有机废气处理解决方案。
根据实际工况，可采用UV光解催化氧化、等离子或纳米微气泡+活性碳吸附或通过多层化学吸附水洗塔组合使用有机废气处理解决方案，成为有机废气处理设备组合的有机废气处理解决方案，从而达到VOCs废气粉尘综合治理的目的的有机废气处理解决方案。
