- 降低停机维护次数,为降低购置成本带来更大的可能性。
- 优化处理,以延长研磨垫及研磨盘的使用寿命。
- 化学及机械双重力量牢固绑定钻石,提供坚固稳定的钻石耐受力
- 提供坚固稳定的钻石耐受力。
高度工程化定制化的钻石研磨盘,利用烧结工艺,稳定均匀的钻石排布、锐利度及高度,专为半导体高阶CMP应用提供解决方案。
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高度工程化定制化的钻石研磨盘,利用烧结工艺,稳定均匀的钻石排布、锐利度及高度,专为半导体高阶CMP应用提供解决方案。