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当前位置: 首页 » 供应产品 » » 真空泵 »上海伯东美国原装进口考夫曼离子源 KDC 系列

上海伯东美国原装进口考夫曼离子源 KDC 系列

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产品价格: /人民币 
最后更新: 2023-03-16 10:49:28
产品产地: 美国
发货地: 上海 (发货期:当天内发货)
供应数量: 不限
有效期: 长期有效
最少起订: 1
浏览次数: 102
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  • 公司基本资料信息
    • 伯东企业(上海)有限公司
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    • 传真
    • 地址上海市浦东新区新金桥路1888号36号楼7楼702室 201206
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    产品详细说明

    因产品配置不同, 价格货期需要电议, 图片仅供参考, 一切以实际成交合同为准

    KRi 考夫曼离子源 KDC 系列

    美国 KRI 考夫曼离子源 Gridded KDC 系列
    上海伯东美国原装进口考夫曼离子源 KDC 系列, 加热灯丝产生电子, 是典型的考夫曼型离子源, 增强设计输出高质量, 稳定的电子流.
    美国 KRI 考夫曼公司新升级 Gridded KDC 系列离子源, 新的特性包含自对准离子光学和开关式电源控制. 考夫曼离子源 KDC 系列包含多种不同尺寸的离子源满足各类应用. 考夫曼离子源 KDC 提供一套完整的方案包含考夫曼离子源, 电子中和器, 电源供应器等等可以直接整合在各类真空设备中, 例如实验室小型研发, 镀膜机, load lock, 磁控溅射系统, 卷绕镀膜机和线性镀膜.
    美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 特性:
    通过加热灯丝产生电子
    低电流高能量宽束型离子源
    美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 应用:
    辅助镀膜(光学镀膜) IBAD
    溅镀&蒸镀 PC
    表面改性, 激活 SM
    沉积 DD
    离子溅射沉积和多层结构 IBSD
    离子蚀刻 IBE
     

    美国 KRI 考夫曼离子源 KDC 技术参数:

    型号

    KDC 10

    KDC 40

    KDC 75

    KDC 100

    KDC 160

    Discharge 阳极

    DC 电流

    DC 电流

    DC 电流

    DC 电流

    DC 电流

    离子束流

    >10 mA

    >100 mA

    >250 mA

    >400 mA

    >650 mA

    离子动能

    100-1200 V

    100-1200 V

    100-1200 V

    100-1200 V

    100-1200 V

    栅极直径

    1 cm Φ

    4 cm Φ

    7.5 cm Φ

    12 cm Φ

    16 cm Φ

    离子束

    聚焦, 平行, 散射

     

    流量

    1-5 sccm

    2-10 sccm

    2-15 sccm

    2-20 sccm

    2-30 sccm

    通气

    Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他

    典型压力

    < 0.5m Torr

    < 0.5m Torr

    < 0.5m Torr

    < 0.5m Torr

    < 0.5m Torr

    长度

    11.5 cm

    17.1 cm

    20.1 cm

    23.5 cm

    25.2 cm

    直径

    4 cm

    9 cm

    14 cm

    19.4 cm

    23.2 cm

    中和器

    灯丝


    1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源霍尔离子源射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专利. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.

    若您需要进一步的了解详细信息或讨论,   请参考以下联络方式:

    上海伯东: 罗先生                               台湾伯东: 王女士
    T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
    F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
    M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
    www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

    伯东版权所有,   翻拷必究!


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