基本参数(标准型)
X向量程：100mm
X轴分辨率：0.2μm
X轴指示精度：±（3+0.02L)μm
Z1向量程：25mm
Z1轴分辨率：0.05μm
Z1指示精度：±（2.5+|0.15H|)μm
Z轴高度：320mm 立柱行程
直线度：1μm/50mm
水平精度：±（1.2+0.02L)μm
垂直精度：±（1.5+|0.03H|)μm
驱动方式：X轴 Z轴 均为电动
检测方法： X轴 高精度光栅传感器 0.2μm
Z1轴 高精度光栅传感器 0.05μm
驱动速度： X轴 Z轴（立柱） 4档，可自定义速度
测量速度：X轴: 0.1,0.2,0.5,1mm/s ,自定义
产品特点
★ 高精度小台式轮廓测量仪。
★ Z1轴采用高精度数字式线性传感器，测量范围大、精度高、稳定。
★ 采用高速并行数据采集单元，硬件触发、硬件高速采样，无延时。足够密集的数据源及稳定的数据源，为后期的数据处理、计算提供最有力的保障。
★ 大量程设计，杠杆比仅为1：2.2，最大限度保持了传感器的原有精度。
★ Z轴传感器整体结构无任何弹性元件，从而保证无论测针处于均任何位置测力是衡定的。
★ 软件自主研发，标注、操作方式与CAD一致，软件功能强大，有自动抬起、自动回退及捕捉功能。
★ 对测针进行补偿。
★ 拟合数据自动保存，便于多次标注
