基本参数
X向量程:150mm
X轴指示精度:±(1+0.025L)μm
Z1向量程:24mm
Z1指示精度:±(1+|0.02H|)μm
Z轴(立柱):450mm
直线度: 1μm/100mm
水平精度:±(1+0.02L)μm
垂直精度:±(0.8+|0.02H|)μm
检测方法:X轴 新型数字式传感器 0.2μm
Z1轴 新型数字式传感器 0.01μm
驱动速度: X轴 Z轴(立柱) 4档,可自定义速度
测量速度:X轴: 0.1,0.2,0.5,1mm/s,自定义
驱动方式:X轴 Z轴 均为电动
产品特点
★ 高性能、高配置轮廓测量一体机。部分型号增加了立柱随动功能,自动标注、间断测量。
★ Z1轴采用高精度数字式线性传感器,测量范围大、精度高、稳定。
★ 采用高速并行数据采集单元,硬件触发、硬件高速采样,无延时。足够密集的数据源及稳定的数据源
★ 为后期的数据处理、计算提供最有力的保障。
★ 大量程设计,杠杆比仅为1:2.2,最大限度保持了传感器的原有精度。
★ Z轴传感器整体结构无任何弹性元件,从而保证无论测针处于均任何位置测力是衡定的。
★ 软件自主研发,标注、操作方式与CAD一致,软件功能强大,有自动抬起、自动回退及捕捉功能。
★ 对测针进行补偿。
★ 拟合数据自动保存,便于多次标注
★ 出厂经激光干涉仪校正。