MF4300系列气体质量流量计能直接测量气体质量流
量，适用于各类清洁、干燥气体。MF4300工作压力提高到
1.0MPa， 测 量 范 围 涵 盖 0~10SLPM到 0~200SLPM。
2 MF4300提供多种信号输出，通过RS485或I C数字通讯接口
可实现远程数据采集与设置。MF4300具备LED数字显示和
按键功能，允许用户在现场调整或查询流量计的参数。
MF4300系列气体质量流量计是基于美国微机电系统有
限公司自主研制MEMS流量传感芯片，其原理是利用流动气
体传热传质的依存关系，在其上、下游产生温度变化而得
到气体的质量流量。
该流量计的MEMS芯片上集成了微热源与温度传感
器。当没有气体流过时，MEMS芯片上的微热源周边形成稳
定的温度场分布。当有气体流过时，微热源周边会形成新
的温度场分布。MEMS芯片上的温度传感器将测量到具体的
温度变化并转换为电信号，经放大、调理和线性化处理
后，通过LED显示或模拟、数字信号输出。由于不同种类的
气体对微热源周边形成稳定的温度场分布所产生的温度变
化不同，所以能测量气体的质量流量。
