日本东丽toray半导体/液晶/电子零件等氧气计，氧气分析仪MS-500
氧气分析仪MS-500
- 最多可同时测量8个点
- 浓度显示范围很广，从ppm到100％。
- 非常适合安装在半导体制造设备，真空设备等上。
- 传感器为直接插入型（用于真空16/25/40的NW法兰）
- 具有特殊涂层的高度耐用的传感器，可进一步提高耐用性
MS-500设备规格
测量原理形状显示方式测量范围重复性测量点数样气条件压力流量湿度温度其他比较气记录仪输出变速箱输出报警输出热身时间尺寸MS-500（控制器）MS-510（转换器）传感器单元SD16NWSD25NWSD40NW大众MS-500（控制器）MS-510（转换器）传感器单元SD16NWSD25NWSD40NW外部连接使用电源
| 氧化锆浓缩池类型 |
| 分体式（转换器：壁挂式，传感器：直接插入式） |
| 4位数字显示（密度显示） |
|
0-1 / 10/100 / 1000ppm / 1/10 / 100vol％O 2 10 -20至10 -0 atm 自动量程 |
|
在±0.5％FS 0-1％范围内或更高 ±1％FS或± 0.1ppm中，以较大者为准小于0-1％范围0-1ppm，atm范围超出保证的浓度范围 |
| 1?9?18 |
| 10 -3至200 KPa（绝对压力） |
| 0.5至5,000 mL / min或0 mL / min（自发扩散状态的测量） |
| 露点低于环境温度 |
| 0-100°摄氏度 |
| 请勿包含腐蚀性气体（氟气，lu气，硫化物气等），含有机硅的气体，可燃成分（包括气体），油和水。 |
| 大气层 |
| 仅变速箱输出 |
| RS-232C |
| 没有 |
| 6分钟以内 |
| 92（W）×44（H）×120（D）（不包括突起） |
| 100（W）×40（H）×88（D）（不包括突起） |
| 总长100mm（感应部分Φ11×39，主体部分Φ40×51） |
| 总长100 mm（感应部分Φ11×42，主体部分Φ40×48） |
| 总长100mm（感应部分Φ11×41，主体部分Φ40×49） |
| 约0.6Kg |
| 约0.5kg |
| 约0.2Kg |
| 约0.2Kg |
| 约0.35Kg |
| 真空法兰之一（NW16、25、40） |
| 24VDC±10％ |
