使用DELTA™流量比控制器(FRC)，优化过程性能变得更加容易。DELTA™流量比控制器(FRC)广泛用于各种分流应用，例如蚀刻、剥离和PECVD，使用户能够将气体或气体混合物分配到工艺室的不同区域。DELTA™II流量比例控制器以用户的比例分配和控制混合工艺气体流向工艺室内的多个腔室或区域，从而最大限度地提高工艺均匀性和可重复性。它可用于EtherCAT®或DeviceNet™通信。
2、美国MKS控制器产品特征
分配和控制流向两个腔室或区域的工艺气体
用于在运行期间监控设备的嵌入式以太网
模拟、EtherCAT®或DeviceNet™通信
更宽的动态控制范围，可实现低至5%满量程流量的比率控制
获得的控制算法可实现更快的响应比设定点
使用标准网络浏览器-无需特殊软件
3、美国MKS控制器产品优势
DELTA II具有更宽的动态比率控制范围，更能适应不同的刀具和工艺条件。MKS开发了一种独特的正在申请的比率控制算法，使比率和流量响应时间小于两(2)秒。这种控制算法还支持20比1的比率控制范围，是其行业领先前身的两倍多。DELTA II的诊断功能允许用户在现场检查DELTA的性能，通过减少“未发现问题”设备的移除来降低成本。此功能通过通过设备的以太网端口访问的Web浏览器实用程序启用。该实用程序使用标准的网络浏览器——不需要特殊软件。访问时，可通过设备高亮LED显示屏访问IP地址。
4、美国MKS控制器产品信息
DELTA II广泛用于各种分流应用，如蚀刻、剥离和CVD，使用户能够将气体或气体混合物分配到工艺室中的两个不同区域。向DELTA II发送气体（或任何混合物）和比率设定点，DELTA II将自动且精确地将气体分成两个独立的输出通道。吞吐量和过程控制一直是半导体器件制造商的关键。随着300毫米晶圆和双工艺室的出现，控制气流分布的新方法变得越来越需要。300毫米晶圆加工通常需要对整个晶圆的气体分布进行可调控制，以提供更好的工艺均匀性。双工艺室需要适当的气体分布，以便与单源气体面板的室匹配。
5、美国MKS控制器产品技术数据
最大工作出口压力：200托
最大允许出口压差：50托（Q1和Q2之间）
正常工作压差：<150托（对于10000/10000，<450托）（N2）
证明压力：1000磅/平方英寸
爆破压力：1500磅/平方英寸
输入流量范围：每个通道的5到100%满量程额定值（N2等效）
比率控制范围：1:1到20:1和20:1到1:1
比率精度：比率设定点的2%
典型精度：比率设定点的0.3%
比率重复性和再现性：通道满量程的0.02%
零温度系数：0.05%满量程/°C
跨度温度系数：0.08%读数/°C
热身时间：30分钟
工作温度：10至40°C
6、美国MKS控制器产品部分型号
美国MKS控制器DELTA™IV 4
美国MKS控制器DELTA™II
美国MKS控制器DLT2A2
美国MKS控制器DLT2B
美国MKS控制器DLT2A1
美国MKS控制器DLT3B
美国MKS控制器DLTNA3
Lovato TM ST
AII GPR12-333PPM 02 SENSOR,S/N:504342747
RELECO QR-C C7-A20，DC110V，3.6A
STI DT-S11F1S0
Schenck RTN 1t C3
SOLARTRON OD4
BD 压力传感器DMP331-111-2001-1-3-100-300-1-000
Dynisco TPT4634-35MPA-6/18
Turck BL20-E-8AI-U/I-4PT/NI/ET
SCHMALZ 电缆10.06.02.00031
Dynisco MDT422F-1/2-50-15/110-A
Parker 电磁阀D1VW001CNJEE
BERU 点火电极ZE14-12 长度88.94mm
SOR 311581-ND1703
MAGTROL 称重传感器LB220-011/001
HYDAC 溢流阀DB12120A-01X-250V
TWK 电子式接触器ER40-24DC-300DC-A03/24VDC
Prominent普罗名特 CNPb1000PVT200AC1D
Dynisco 传感器TPT4636-5M-6/18-RTD1
VICKERS DGMA-3-C1-10
SKF 轴承加热器TWIM15/230V
MTS RH-M-0350M-D63-1-P102
HYDAC 压力传感器HAD 3840-A-350-190带插头停产替代HDA4842-A-350-416
BAUMER 编码器 ITD70A4Y7 1024IMP 8~30VDC
KROM VK 80F10T5A6L3DVZ
Dynisco 传感器NP-465XL-1/2 50mpa
DOLD 安全继电器 LG5925.48 3NO+1NC
SOCOMEC Stromwandler 200A TCB 44-50 Kl. 0,5 192T5020
HYDAC 压力开关VD 5D.0/-W-LED 04/20 DC24V 可能是VD5D.0/-V-LED
AI-TEK 转速传感器70085-1010-412
IFM 接近开关IB0016 IBE2020-FBOA
HYDAC 压力传感器HDA4445-A-250-000
IFM 开关 6-EFECTOR; IN5207 IN-2002- FRKG; U:10… 55V DC I:400MA SCP T26; D45127
LINCOLN林肯 超声波液位开关 SONAR-SENSOR BPU1-V375-L800 200 664-34009-2
WOERNER 液位开关KFA-A/F/0/N/056C/Z3N/250
DYNISCO 压力传感器 2242NAOOM21CEFFBCAZZB628
TR CXS65S-00002
LEUZE AMS 304i 200 Part number:50113679
HYDAC 数显温度控制器ETS388-5-150-000
高诺斯 Crouzet 备件号： 84872057 65-260V 升级为84872.152
Weidmuller 浪涌保护器1352900000 VPU II 4 400V/40KA 升级为VPU II 4 R 400
FESTO 10P-14-8C-MP-N-Y-C3JMJJM+GQC
Bently 探头330103-00-07-10-02-00
HIROSAWA/IKURA THA1-7556X-TP-N/O WITH SENSOR AJC017-N.O., AC200V 50/60HZ FOR VS-520B
HS-COOLER冷却器 KS25-BCV-421 L2400
MOELLER 辅助继电器DILAC-40 DC220V，带底座
ROLAND SCI20S-GG 40米
SIEMENS西门子 CE-0085AP0001
BALLUFF巴鲁夫 位移传感器BTL7-S573-M1800-8-S32
NORGREN 减压阀B38P 444 M1MA
耐震压力表国产 压力范围：0～5000psi，压力等级：1.6，压力表接头：1/4″ NPTM，安装形式：轴向偏心嵌装式，带边；表盘直径：150mm，充液防震，材质：304不锈钢
CEAG 插头GHG5117306R0001 220v
SUN CBCA-LIN-EBA 30-105 BAR/503 697报价型号CBCA-LIN-EBA
BRAUN D124,1S2U2M NO.:1406040019
Rexroth 4WE 10 D50/OFEG24N9K4/M
schmersal 端门行程开关ZIR236-11z-M20
Kubler 编码器 8.5020.0A40.1024.S046.EX No.:2116704468
MTS RHM0280MR031A01
PIZZATO VF L56
SOLARTRON AX 2 5S
REXROTH 位置传感器 GIV50-11
HYDAC VD2LZ.1/-BO
BD 压力传感器DMP331-110-1001-1-3-100-300-1-000
VERSA EZM-3143-4-Z-HC-110V50-120V60
ROSEEMOUNT 3051TG3A2B21AB4E 8M5HR5,0-10.3bar
TWK CRE58-4096G24CE01
意大利carpanelll 电机 B5 报 价型号 Drehstrommotor Typ 63L/4a
EUROTHERM EPOWER/4PH-400A/600V/230V/×××/×××/×××/OO/Y2/
P+F 光电开关\漫射式\RLK31-8-2500-IR/31/115\PNP
IPF 传感器OR170120 10-30VDC 200mA Sn:4m
STAUBLI RMI209.12.7102/JV
RELECO 继电器C4-A40 DX/DC 24V
S+B VCS09611ERT8P2+1*OGF6B
DESTACO迪斯泰克 8MB-056-1 磁性开关支架
ASCO SCE272A017MS 230/50
IMAV 阀RVPS-10N-C-0-50
Bauer 电机BS40-62U/D08MA4-G-S/ESX010A9
Bihl+Wiedemann 模块BWU 2544
Honeywell RA890G1229
SAUER DANFOSS GRL074BLS2525NNN3 S1N2A1NAAANNNNNN
Voith 附件 Schmelzsicherungsschraube Set X1 - M18 bestehend aus: 5 Schmelzsicherungsschrauben 2 Dichtring für Füllschraube
SENSOR ENDRESS+HAUSER FTM20-AG42A
Hanovia 130027-2001-C
DESTACO 8EA-030-1
HYDAC 温度控制器ETS3868-5-000-000-30 150℃ DC24V
E-T-A 继电器 ESS20-003-DC24V 10A 4个起订
HENGSTLER 0547884
RHM1720MK021S1G6100
SUN CWIA-LHN-QCXS
Phoenix 圆形连接器SACC-M12MSB-5CON-PG9 SH AU
SKF PPU-5 阀
Rexroth A4FM22/32W-NSCO2
IPF 接近开关IB120155 10-35VDC 120mA
Rexroth 换向阀4WEH10J4X/6EG24N9TS2K4
德国Krom schroder 点火控制器 BCU480-5/3/1LW3GBD2 已停产，升级型号 88610638 BCU480-5/3/1LW3GBD2
SICK 障碍物传感器TIM320-1031000
ECKERLE EIPH2-016RP30-1X 包括附件（6000200234）
MOOG D661-6573C G08JOAA4VSX2HA
DESTACO迪斯泰克 8MB-055-1 开关总成(带支架)JB报价只是磁带KASSETTE
BERMAD IR-3"-110-Y-P-FF-UC-9DS-PP-X
RHM1200MP101S1G8100
IPF 接近开关 IB080150
MTS EPS0270MD601AO
美国warner 制动器TB5000IM 24VDC 23w
HYDAC EDS-346-2-250-000
日本丰兴TOYOOKI HRD3-BG3-1-04B-WYD2
CAREL EVD0000E20控制器
MTS P-M-0700M-D53-A-P102
Rexroth 电磁换向阀4WE6YX6X/EW220N9K4
Bently 瓦振传感器9200-01-05-10-00
VERSA EZM-3143-4-Z-HC-A120 A120 = 120V60Hz
ECKERLE爱珂勒 齿轮油泵 890-E1-0800-RS2-C503
