高精度测量:能够提供非常精确的位置测量,满足高要求的工业应用。
高分辨率:可以分辨微小的位置变化。
稳定性好:在不同的环境条件下都能保持稳定的测量性能。
技术规格包括:
分辨率:0.05μm/ 0.1μm/0.2μm/0.5μm/1.0μm/ 5.0μm。精度/米:双层尺带±1μm /±2μm / ±3μm / ±5μm,单层尺带±5μm / 其它可定制。
最大速度:10m/s (对于正弦信号) 1.6m/s (R:0.1μm)。
读头尺寸:34mm x 13.2mm x 12.4mm。
光栅周期:20μm / 100μm。
尺带材料为不锈钢,具有热膨胀系数10.5x10^-6/°C。
输出信号:1Vpp / RS422。
参考原点:标准为固定距离,每50mm一个/其他可定制。
数控机床:确保机床加工的精度和准确性。
半导体制造设备:在高精度的生产过程中发挥关键作用。