AM 839-101612-887 半导体
LAM 839-101612-887 是静电吸盘 (ESC) 部件，用于 LAM Research Corporation 生产的半导体晶片蚀刻和灰化设备。它是半导体制造过程中的一个关键部件，可确保在蚀刻和灰化步骤中晶片被牢牢固定并正确对齐。
产品概述
产品名称： LAM 839-101612-887
产品类型： 静电卡盘 (ESC) 元件
产品品牌： LAM Research Corporation LAM Research Corporation
产品制造商： LAM Research Corporation LAM Research Corporation
产品参数
零件编号： 839-101612-887
卡盘尺寸： 200mm
电压范围： 0-1000V 0-1000V
电流容量： 10A
真空兼容性 是
冷却剂兼容性 是
应用领域
半导体晶片蚀刻
半导体晶片灰化
产品特点
高夹持力，可安全夹持晶片
均匀的静电场可实现精确的晶片对准
颗粒生成量低，可实现清洁处理
与各种蚀刻和灰化化学试剂兼容
结构耐用，使用寿命长
产品优势
提高晶片蚀刻和灰化工艺性能
提高晶片产量和产品质量
减少工艺缺陷和颗粒污染
降低运营成本和维护费用
产品选择
选择合适的 LAM 839-101612-887 ESC 组件取决于特定的蚀刻和灰化应用、晶片尺寸和设备配置。需要考虑的因素包括
晶片尺寸和材料
蚀刻和灰化工艺参数
PM50CS1E060 MDS-D-CV-110 839-101612-887
PM50CS1E060 MDS-D-CV-110 839-101612-887
PM50CS1E060
MDS-D-CV-110
A06B-0034-B175#0008 MG/ATC轴电机
839-101612-887
719-101612-885
AM5801.13/4096PB-10/S805B
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BK9050
KL9190
KL1002
KL9080
KL2622
KL9010
FMP51-LDBHNN180DZ
FTM30-A4DA1
HD9MS-A069-0030-50000C
HG-AK0336M01 带Molex连接器
8B0M0160HW00.000-1
MOD:PTD-500-AC, 1150 HP
PSU8200
E84AHWMC1534V-V003 windmotion 13462745\伦茨
MC07B0110-5A3-4-00
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RASP-312AI1S0-C320V1
RASP-512AI1SL-C320V1
RAMO D02AI1S-X320V1
C98043-A7011-L1-6
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6ES7400-0AP00-0AA1
ATV71HU40N4Z
超声波液位计 7ML5202-0EA0
脉冲编码模块 6SE7090-0XX84-3DB1
CDHD2-4D52AEC2
671-5CL00-0AX1
SV635NS2R81-XD
SV635NS1R61-XD
SV635NS5R51-XD
IC698ACC701
332-5HF00-4AB1
FX1S-30MR-001
FX3U-48MT/ES-A
EBG ESP62/20) 15R
(Model: 710-4M0700-NE-0S-0000) 400KW
6ES7288-1ST30-0AA1
品牌：达纳帕
MAX JR COUNT 115 / 230 VAC
MODEL NO: MCJR1SOO
MAX COUNT 6S 115 / 230 VAC
MODEL NO: MC60SS00
Z-GK6087-6AC61-FE-B Z5
ESMD371L4TXA
DILM150-XHI31
XTCE095F
EVS9321-EP
FRN110G1S-4C
B622ADA57A
OCTOPUS-8M
924MDNS4100HFA
涂胶泵触摸屏
NQ5-TQ010-B
1 each AN16SN0 EATON NEMA SIZE 5 CONTACTOR,SERIES B1,120VAC COIL ,60HZ CUTLER Hammer EATON noisy Contactor
REFERENCE : SULLAIR PARTS LIST FOR MODEL LS 200 S WITH SERIAL NO:201103180006 water cooling
ABB Bailey SPICV01 IMICV01
6FX5002-2DC10-2AA0 带 24V MOTION-CONNECT 500 长度（m）=100
AINT-24C 要带二维码的
1769-CRR3
R414113365
6200T-22WA
施耐德 140CRA31908
施耐德 XBTGT6330
施耐德 140NRP31200
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440R-B23211
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9324M-RLDT30M
软件 GPI-S MODBUS
ADAM-4520
SPSET01
SPSOE01
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SPFEC12
1948506C8
PHARPSPEP21023
PHARPS30000000
PHARPS32000000
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PMKHRMBRC3000A
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NTCF21
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ACS510-01-07A2-4
ACS550-01-059A-4+B055
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NTAI06
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SPSET01
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SPSEM11
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SPBRC410
1734-ARM
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25B-E1P7N104
TM5SDO6TBFS
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LMC902CAA10000
TM5CSLC200FS
6XV1870-3QN30
CLMD20KVAR
CLMD30KVAR
CLMD40KVAR
CDC19s-95/21 220V线圈
CDC19s-63/21 220V线圈
PR6423/000-031+CON041
PR9376/010-021
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140XCA71706
SPIIT13
BSM0400CN00
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DCS800-S02-0520-04/05
3RA1811-8XA07-1AC0-ZX95
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6SL3310-1TH32-2AB3
A5E03258775
6SL3350-6TK00-0EA0
A860-2120-T401
2711P-T10C4D7/A
VJDSNDTGSV62M
1SAY130130R0100 07SS91 ABB的板卡
TSXP575634M
2711P-T6C5A
1775KTPMPP 1700
1775T-PMPP-1700
9AK1012-1AA00 西门子
模块\ IC695ALG808-DA
模块\IC693CPU364
模块\1C695CPU315-AA
模块\IC694ALG223
模块\IC695PSD140
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网络模块\IC695ETM001
CPU模块\IC695CPU310
CPU模块\IC693CPU374
充电模块HD22010-3
电池模块6EP1935-6ME21
电源模块\IC694PWR330
背板\IC695CIS016
IC695CHS016
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A5E00761765
A5E00761759
G50BB145MHAR3C00
MCS09D41-RS0P2
EYP0011A0100M01A00
ACS580MV-07-0039A-100
ACS580MV-07-0075A-100
6SL3310-1GH28-5AA3-ZT93
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6SL3310-1GH33-3AA3
7MF0360-1HV01-5CF2-Z B35+D42+E27+Y01+Y15
施耐德
P127BA1Z112GA0
P127BA0Z112GA0
P642312A2M0B38L
ABB VD4 12-12-32
3RT2023-1FB44-3MA0
6SL3040-1GA01-1AA0
SW-1200063
3BHE021083R0101
3BHE006373R0101
XV C769 AE101
3BHB007209R0102
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58914444
20BC072A0AYNANC0
6SL3325-1TG41-3AA3
A5E41864361
A5E02381532
A5E01244384
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3DREPE 6 A-20/40E
SQS65.5
3DREPE 6 A-20/40E
SQS65.5
ABB磁性伸縮線性位移傳感器 KYCM-LPM1450-0200AT10
EN60947-4-1
6FX2001-5QN25
6SL3040-1NC00-0AA0
6SL3055-0AA00-5EA3
6SL3210-1PE28-8AL0 400V,45Kw,75A,带滤波
440n-z21ss3ph
TXS1.12F10 | 101460825
PP C907 BE AMC34
3bhe024577r0101
1SEH310118R0153
2CMA168428R1000
LDGRB-01
ML061(0608830223)
RPBA-01
TSXMRPC007M
测量单元板(MUB)\UNS 2881b-P V1 UN5000\ABB
UNS2881b-P V1
3BHE009319R0001
西门子工控机\6BK1800-0WP20-0AA0
1756-L61 50700
6FC5357-0BA31-0AE0数控主板
6FC5357-0BA31-0AE0数控主板
6FC5357-0BA31-0AE0数控主板
6SE6430-2UD35-5FA0 1
3VL3725-3AA36-0AA0 2
HWA1K5L2 序列号 30020019B021070024 2
HWA1K5L1 序列号 30020018B021040007 2
C200HW-PA204 1
Eaton MTL4850 1
Model: MBS 5100-2011-1DB04
Brand: Danfoss
Req Qty- 02 Nos.孟加拉
TE JB 3 ; RB-30, PT 100 Omega 2
SP- 07510M04 ; EQ-501T 2 Panasonic
VF-D1000T 8
VF-D1000 2 孟加拉
ETS 326-3-100-000 HYDAC ELECTRONIC GMBH
ETS386-3-150-000
106,PN:906170
PMP71-BBA1S61RHAAU Endress Hauser
PMP71-BBA1S61RHAAU
PMP71-BBA1S61RHAAU
PMP71-BBA1S61RHAAU
PMD75-BBA7H611AAU
TMT142-E22331BBA1
Model: VVF42.50-40C
Brand: Siemens
QTY: 14 PCs 孟加拉
6AV7803-0AA10-2AC0 1
8200-226 8
6ES7416-2XP07-0AB0 2
A1A13000346.09 1
IGBT FZ2400R17KE3_B9_S1 12个
IGBT FZ3600R17KE3_S1 12个
FBM231 P0926GV Foxboro Invensys 1个
TSXP572623 1
Touch panel Azonix MP2030Z2/006 1
EUJ710020 1
FX5-16ET/ES-H 1
MR-JE-70A 1
MR-JE-300A 1
MR-JE-200A 5
施耐德控制板vw3A3521SO 1
EMG IO模块 型号I/O Module 2
1756IT61 1 查不到面价
横河 K9477EA?一件
SDN10-24-100C 5
CSTR-CRBCC22AAA 1
CPS11D-7BT21 1
WQ-1604B 1
PDP800 1
HC800 1
CP800 1
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KL9540 3
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3BHL001434P0001 1
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3BSM001840 4
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FRN3.7G11-4CX 3
FRN90G1S-4C含面板、电抗器 1
20-HIM-A6 2 面价1724
FSCG053PH 1
驱动器MFE190-04UP-01A6-2 N8020 数量：1 品牌：ABB
ANM832CE,12V,0.14A,PANASONIC 1只
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SCADAPack 357 1
TBUP357-1A20-AB10 1个
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x20cp1585
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P0916DBC
P0916AA
FT-5116 ; 1151DP5S22B4L4 Rosemount 1孟加拉
JAMSC-120DAI54300
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839-101612-887 3
CP-25A-5-J401A-SP 1
Type: 233.50.100;Kont:82122 WIKA 2孟加拉
丹佛斯
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AKS-3050060G1045(1-25bar) 2
CS1W-OD231 1
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D1014D 2
GM D1020D 1
D1032Q 1
P330-1A20-AА00
masi65 di4 bv 55622 MURR 2个
Weishaupt WG10 N/1-D ZM-LN 1 个
PMM-BA-5653-3 数量1
MDX61B0022-5A3-4-0T 2
8MSA3L.E1-68 贝加莱 数量1
Y001 ; 4WE 6D52/AG24NK4
CODE NO.894 041 0602
S008 ; 1 457 435 002, A677 26, 8518120060
TM171OFM22R 1.00
施耐德 ATV1200C-D3200405 3
R911261989 / MKD071B-061-KP1-KN DKC02.3-040-7-FW 1
Rexroth 3-842-519-244 1
1783-CMS20DN 12个
SD328BU25S2 1
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ABB 3AXD50000004425 数量7
ABB 3AXD5000000442 数量7
CMOD-01
ABB 3AUA0000082226 数量10
ABB 3AXD50000028750 数量20
ABB 3AXD50000009410 数量3
ABB ACS880-01-025A-3 E200 K454 数量2
ABB ACS880-01-04A0-3 E200 K454 数量2
3BHL000986P8110 2块
ATV71HD90Y 1
VW3A4554P 380V\40A\15.2kvar\干式\户内\国产
西门子线缆 6FX5002-2DC20-1BA0 10米/根 2根
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模块内滤网\ELSU-W-F6-400x65x94
ABB，数量30
SCHNEIDER ABL8DCC12020 1
SCHNEIDER K1B001S 1
A5E52033614 1
艾默生伺服电机142U3A200CACAA165240 5.7Nm 2台
A5E33094595 1
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PNI800数量2
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1769-OF8C 21874
1769-SM2 6381
数量1 客户要二手的
ATV650C20N4F 1
VX4B600100 1
VX4DCPD37N4 1
VX4PPD37N4 1
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VX4PPD55N4 1
A5E35363234A 60个
DSQC639 3HAC025097-001/13 1
伺服电缆 6FX8002-2DC10-1DA0 30m/根 条 5
伺服电缆 6FX8002-5DS01-1DA0-1DC1 条 2
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A1A13000346.09
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ATV1200 5.906.028 1
FXD63B225L 10个
826A001B-1
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843Z002-1 各一
A5E35080011-001 1
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IC200PBI001-LG
5X00226G04
1C31132G01
IC200CBL002A
1C31129G04
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1C31192G01
EL100T,10/100T
1C31189G01
1X00781H01L
A5E42836641 1
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RCAN-01 9
ATV930D37N4 1
6SL3210-1KE11-8AF2 6
Schneider
LV848028 LV847283 数量 1
LV848042 LV847283 数量 1
LV848312 LV848500 数量 1
XBTN410 1
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1734-IT2I 面价3415 3
6FX2001-3JC22-4DC0 1
A5E01163677 1
6SE1200-1EA40-0 1
SV/S 30.640.5 1
SA/S 8.16.6.1 1
ABB电源模块64209396 MPS3-230/24 1个
ABB通讯模块 CI801 2个
6Fx2001-8AA05 2
ABB REX640 - 2
852A024-1 1
6SL3000-1BF32-5AA0 1
6EP1331-5BA00 1
BMXXBP0400 6
BMXNOE0100 6
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BMXFTB2020 13
SI-EP3 1Electric 392A8991P002 1
ATV630D90N4 6
ATV630C16N4 2
6FC5370-0AA00-3AA0数量1
客户 本号：01.04.03.00
SST-PB3-CLX-RLL数量1 查不到面价
SST-PB3-REM数量1 查不到面价
5SNA1200E330100 各54个
193-ESM-IG-60A-C55 3 2519
193-ESM-IG-30A-C23 1 1762
193-ESM-IG-100A-C97 1 3266
6ES7 511-1UK01-0AB0 1
1794-ACNR15/C
1788-CN2DN
1756-CNBR/E
电源/1606-XL(10A)
CBL-YRC062-1
6ES7513-1AM03-0AB0
6EP4347-7RB00-0AX0
