臭氧氧化臭氧是一种强氧化剂，能与废水中大多数有机物，微生物迅速反应，可除去废水中的酚、氰等污染物，并降低其COBOD值，同时还可起到脱色、除臭、杀菌的作用。刘金泉等人分别用OH2O2/O3及UV/O3对焦化生化出水进行深度处理，接触时间4min，溶液pH8.15，反应温度25℃，在此条件下废水COD及UV254的去除率可达47.14%和73.47%，COD可降至67mg/L。臭氧是一种干净的氧化剂，但臭氧发生器耗电量大，运行及投资费用高，在自来水厂做为消毒设施使用较多，但在工业废水处理中应用较少。
