气体传感器说明
按质量计算，在SnO2中加入3~5%的th2、5%的Sm2，在600℃的H2气氛下烧结制成厚膜器件，工作温度为400℃。 一种CO检测装置。 上图右图为烧结温度为600℃时气体感应元件的特性。 在工作温度为170~200℃范围内，对H2的灵敏度曲线描绘抛物线，但可知CO对改变工作温度没有什么影响利用器件这一特性可以检测H2。而烧结温度为400℃制成的器件，工作温度为200℃时，对H2、CO的灵敏度曲线形状都近似呈直线，但对CO的灵敏度要高得多，可以制成对CO敏感的气体传感器。
气体传感器种类
4 .稳定性的实际应用中，UT具有随时间漂移的特性，因此通过在HCl气氛中生长SiO2绝缘层，能够显着改善UT的漂移。 氢以外的气体不能通过钯栅。 制作其他气体的Pd—MOSFET气体传感器采取了一定的对策，制作CO敏MOSFET时如果在钯栅上制作约20nm的小孔，则允许CO气体通过。 再见于Pd—MOSFET对氢气有较高的灵敏度，而对CO的灵敏度却较低，为此可在钯栅上蒸发一层厚约20nm的铝作保护层，阻止氢气通过。钯对氨气分解反应的催作用较弱，为此，要先在SiO2绝缘层上沉淀一层活性金属，如Pt、Ir、La等。再制作钯栅，可制成氨气敏MOSFET。
气体传感器类型
固定不动PO2(1)事实上是(-)极产生一个电位差固定不动的电级，即参比电极，有汽体参比电极和并存相参比电极二种。汽体参比电极能够 是气体或别的混合气，如：H2一H2O，CO一CO2也可以产生固定不动的PO2(1)。并存相参比电极就是指金属材料-氢氧物、廉价氢氧物-天价氢氧物的混和粉末状(固相)，这种合物与氧气(气相)混合发生氧反应能形成同定的氧压，因此也能作为参比电极。
