低温等离子体是继固态、液态、气态之后的物质第四态，当外加电压达到气体的放电电压时，气体被击穿，产生包括电子、各种离子、原子和自由基在内的混合体。放电过程中虽然电子温度很高，但重粒子温度很低，整个体系呈现低温状态，所以称为低温等离子体。低温等离子体降解污染物是利用这些电子、自由基等活性粒子和废气中的污染物作用，使污染物分子在极短的时间内发生分解，并发生后续的各种反应以达到降解污染物的目的。一般气体放电，将会产生等离子，而这种放电现像就是通过某种机制使一个或者多个电子从气体原理或分子中分离出来，形成气体媒质，这种媒质就称为电离气体，如果外电场产生了电离气体，传导电流就形成了，这种现象就被称为气体放电。而这种净化设备的技术，就是工业废气处理的一种原理。
等离子废气净化器又称低温等离子废气净化器，在电催化总的设计概念下，分三个即独立又混成的激发系统：微波激发区、等离子激发区、极板激发区。每个激发区有它特定的功能，但在原理上有它相似的地方。
等离子体化学反应过程中，等离子体传递化学能量的反应过程中能量的传递大致如下：
(1)电场+电子→电子
(2)电子+分子(或原子)→(受激原子、受激基团、游离基团)活性基团
(3)活性基团+分子(原子)→生成物+热
(4)活性基团+活性基团→生成物+热
从以上过程可以看出，电子先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离，从而成为活性基团;之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。另外，电子也能被卤素和氧气等电子亲和力较强的物质俘获，成为负离子。这类负离子具有很好的化学活性，在化学反应中起着重要的作用。
等离子光氧净化器性能特点：
1、工业废气处理设备阻力低：在足够气液接触面积基础上，工业废气净化塔选用空气动力特性比较佳的填料品种及结构形式，使设备阻力在额定风量不超过40毫米水柱，是国内各种填料吸收塔中阻力比较低的一种。这对于配用低压通风机极为有利。
2、废气处理设备占地面积小：工业废气净化处理塔采用PP、FRP等材质，将塔体，吸收液槽、循环泵、吸收液管道系统组合成一套完整的工业处理设备，结构紧凑，便于现场安装及操作管理，占地面积小，无论对新建工程还是技改项目都可适应。
3、废气处理设备适用范围广：化工、轻工、印染、医药、钢铁、机械、电子、仪表、电镀等工业部门生产过程中排放的废气、硝酸、氢fu酸等尾气等硫氧化物、氮氧化物、碳氧化物、qing化物等酸性气体，采用工业废气净化设备，都可满意的效果。
4、废气净化：酸碱雾废气净化塔采用二级逆向喷淋，填料比表面积大，由试验研究确定的气了性能稳定，对各种浓度的酸性或碱性废气净化效率均可达85%-95%。
