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供应ESC静电卡盘 E-CHUCK 静电吸盘

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产品价格: 10000/人民币 
最后更新: 2021-04-02 08:22:33
产品产地: 广东中山市
发货地: 广东中山市 (发货期:当天内发货)
供应数量: 不限
有效期: 长期有效
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    产品详细说明

    ESC静电卡盘

    静电卡盘系统由静电吸附控制器、静电吸附单元及组成。静电吸附主机具有漏电保护、电流过载保护及高压脉冲保护;静电吸附单元电极采用高频导体,表面一种采用氮化铝陶瓷覆膜,另外一种采用聚酰亚胺薄膜覆膜,在保证输出稳定,同时避免高压静电压尖锐击穿。静电卡盘系统由静电吸附控制器、静电吸附单元及组成。静电吸附主机具有漏电保护、电流过载保护及高压脉冲保护;静电吸附单元电极采用高频导体,表面一种采用氮化铝陶瓷覆膜,另外一种采用聚酰亚胺薄膜覆膜,在保证输出稳定,同时避免高压静电压尖锐击穿。


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