CVD法是通过引入某些物质(T1CI4、CH2、H：等)在高温(900～1200℃)或中温(400～
600℃)，与金属表面起化学反应，其反应产物即沉积在金属表面上，形成高硬度、厚度为6～
IOFtm的磷化物、氮化物、硼化物，如TiC、TiN、CrCz、FeB等．‘这种气相沉积膜具有耐热、耐
蚀和耐磨等优点，已广泛用于工模具处理，可大大提高使用寿命。
Pvr)法，是在真空(IO' t～l0--z托)下，通过真空燕镀，溅射或离子镶渗等方式，在工作
表而沉积上述高硬度膜的方法．如真空蒸镀法沉积TiC膜，是在真空下通入蒸发的Ti原子
与CzHz反应而得。PVD法优点是温度较低(500～550℃)变形小，沉积速快。其缺点主要是
沉积TiC膜均匀性较差．应用PVD法处理切削工具表面，寿命可提高5～10倍．
5．离子注入法
离子注入能提高材料表面的抗磨损性能，在一些精密的转动和滑动零部件上，以及轴
承，摸具，刀具上具有实用价值。
在高真空中电离的离子束对金属表面改性有以下特点：几乎所有元素都可以注入，不受
抬金学上固溶度的限制，浓度可以很大，与扩散系数无关，可形成一般方法难以得到的非平
衡结构与合金相；可在窒温或低于室温下进行处理，保持精密工件的几何尺寸、形状和粗糙
度不变；只改善材料的表面特性，而不影响材料内部结构和性能；注入离子的深度，浓度、分
布等均易于控制和重复；注入层与基体不存在不连续的界面，因此表层与基体之间结舍力特
别强．离子注入技术还存在缺点：与其他表面处理方法相比，注入层很薄（几十埃到几千埃）
不适于表面重摩擦等情况l由于离子注入的直进性，对复杂形状的工件难进行处理以及设备
费用昂贵．
离子注入可减轻金属磨损件中的粘着、翅伤、氧化磨损和腐蚀磨损等，实铡如表3-13所
示。
6．表面电镀
摩擦表面，通过电解或电化学方法，镀上一层耐磨
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金属或合金，以提高耐磨性
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