海德汉专利的光刻镀铬技术,最小信号周期0.128微米;
最高精度等级0.5微米/米;
基体可选玻璃、玻璃陶瓷及钢质,通过基体选择热膨胀系数,玻璃陶瓷热膨胀系数接近零自由膨胀、拉伸、背贴等多种安装方式,适用于不同应用场合;
海德汉光栅采用成像扫描与干涉扫描原理,后者用于8~0.128微米栅距,信号误差小于1%,消除高频谐波,进行高倍细分,最高分辨率1纳米,可用于高速场合;
海德汉光栅采用大面积扫描场单场扫描方式,大大降低对油污的敏感性,超级坚硬的光栅尺因高刻线度,灰尘、污物或水滴难以留在其表面,使得光栅尺有着很高的抗污染能力;
海德汉与超出同类产品的优势:海德汉关于干涉扫描、创新的扫描掩膜技术及成像扫描原理的应用,使得光栅的安装有较大的安装公差;
海德汉采用增量信号1Vpp或TTL输出形式,最大电缆长度30米;
海德汉光栅的工作环境要求:标准工作温度(鉴定温度)20℃,可工作温度0~50℃,储存温度-20~70℃;
海德汉光栅尺的应用:适用于半导体工业的测量和生产设备、PCB电路板组装机、超精密机床、高精度机床、测量机和比较仪、测量显微镜和其他精密测量设备、直接驱动等