【产品描述】
KC和KTC型滑阀泵是机械式真空泵中可获得最低压力的泵，推荐应用于工作压力低于0.1Torr(0.13mbar)的工况。
由于滑阀与泵腔之间充满了油而且没有金属与金属间的接触，该系列双级泵特别的可靠和经久耐用。除了KTC-112泵是水冷系统（风冷系统供选择），其它型号的KC和KTC泵都是风冷系统。
标准产品都配置可调式气镇阀，可以处理含水蒸气或其他蒸气的介质。
KTC泵三联滑阀设计确保泵自身动态平衡，事实也证明该泵在运行中没有振动。
【典型应用】
1. 制冷系统排气
2. 液态气体储存
3. 制动液加液系统
4. 低压化学蒸气沉积（LPCVD）
5. 硅晶生长
6. 泄露检测
【技术参数】
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型号
MODEL |
抽速
CFM/m3/h |
电机功率
HP/kW |
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KC-5 |
5/8.5 |
0.33/0.25 |
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KC-8 |
8/13.6 |
0.5/0.37 |
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KC-15 |
15/25.5 |
1/0.75 |
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KTC-21 |
21/36 |
1.5/1.1 |
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KTC-60 |
60/102 |
3/2.2 |
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KTC-112 |
107/182 |
7.5/5.6 |
