气体质量流量控制器,日本小岛KOFLOC气体质量流量控制器,日本进口气体质量流量控制器
气体流量控制器,日本小岛KOFLOC气体流量控制器,日本进口气体流量控制器
气体质量流量控制器,日本小岛KOFLOC气体质量流量控制器
气体质量流量控制器因有控制器精度高,重复性好,反应速度快。它适合半导体,CVD,扩散,真空镀膜,色谱、光纤熔炼,分析仪器,燃料电池,液晶屏,有机EL,生物工程,等离子蚀刻,环境测试,燃烧气体控制,试验设备,焊接,微反应装置、配气和混气系统等各个环节、各个制造过程中的流量控制。气体质量流量控制器所用的传感器是热式流量传感器,热式质量流量计是利用传热原理,即流动中的流体与热源(流体中加热的物体或测量管外加热体)之间热量交换关系来测量流量的仪表。
工作原理
流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理气体的质量流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流
量信号送入放大器放大,放大后的流量检测电压与设定电压/电流进行比较,再将差值信号放大后去控制调节阀门
,闭环控制流过通道的流量使用之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。控制器输出的流量栓检测电压/
电流与流过通道的质量成正比,满量程(F.S)流量检测输出电为+5V或20MA。气体质量流量控制器的流量控制范围是(2~100)%F.S ( 程比为50:1 ),流量分辨率是0.1% F.S。
品牌:日本小岛KOFLOC(创立于1949年),气体质量流量控制器
型号:3660系列、8500系列、HFC-303系列、3810DS系列
类型:MFC气体流量控制器/质量流量计
控制范围:0.02ML—1000L/MIN
精度等级:0.2%FS—1.5%FS
响应速度:0.5-1秒
适用介质:所有气体(含腐蚀和有毒气体)
模拟信号:0-5V、4-20MA(可选)
气路密封:氟橡胶、全金属密封等等
气路连接:1/2;1/4;1/8;3/8卡套、RC1/2;1/4、1/4;3/8VCR
工作压差:2KPA—300KPA(同行业中可做到的最小压差)
气路材质:SUS316
通信接口:RS-485、RS-232
产品气密:1×10-11Pa·m3/s 或 1×10-8Pa·m3/s
耐压:1.0Mpa(常压)、3.4-6.8MPa(高压大流量)
电压:24V、±15V
特点:
1:另外配有LED数字显示,产品面板上有可调节各种功能的按钮,极其容易操作(另有分体式可选择,显示操作部
分和控制器部分可分离)
2:气体质量流量控制器也可配置手动旋钮式调节针阀,从而来时时调节流量大小(3810DS系列—低价格)
3:气体质量流量控制器采用直接质量流量测量,因此实现了不受温度、压力变动影响的精确测量
4:气体质量流量控制器配有RS-485/232接口,能于其他外部设备实现通讯
5:气体质量流量控制器装备自动调零功能,内装微处理器,达到高功能化
6:高分辨能力(14位以上),通过采用AD、DA,能够达到高精度应对
7:气体质量流量控制器能够设定装置编号;通过CF值应对气体种类
小岛KOFLOC还有《转子、浮子流量计/控制器》、《比例电磁阀》、《精密针阀》等等...
欢迎来电咨询
柯先生 012-51863181 18616335251
keyong0519@163.com