扭矩CS: 0.1 μN.m – 50 mN.m
扭矩CR: 0.1 μN.m – 50 mN.m
马达惯性: 15μN.m.s2
角速度范围CS (rad/s): 0 ～ 300
角速度范围CR (rad/s): 10E-7 ～ 300
频率范围 (rad/s): 7.5×10E-7 ～ 628
位移精度 40nrad
多孔碳空气轴承
自动间距控制
温度控制 Peltier: -40 ～ 200 ℃
上加热板UHP: -20 ～ 150 ℃
电加热板EHP: -70 ～ 400 ℃
欢迎来电咨询高品质优惠价格
上海耐鼎自控阀门有限公司
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