匀胶烤胶机，(英文名：Spin Coater)
CB-1B型
广泛适宜于在教学实验中使用。 CB系列匀胶烤胶机适应于半导体,硅片,晶片,基片,导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆.匀胶机稳定的转速和快速的启动,可以保证半导体中胶厚度的一致性和均匀性的特点. 该机在这方面采取了许多措施:
(1)定子和转子分开供电.定子用稳定电源供励磁电流,转子用开关电源调速,它比可用控硅调速优越得多,转速在300~8500转/分范围内非常稳定.
(2)本匀胶机有两个转速.在启动之后,先以低速运转,使胶摊开,然后自动变到高速运转.两种转速及相应的时间分别可调.
(3)本匀胶机测速采用光电的办法,在光电测速盘的边上有三个缺口,(反射带和吸收带)分布于盘的周围,盘边的下面安装有光电开关,光源照到光电经反射到接收器,产生光电脉冲,测速盘旋转一周,产生三个脉冲.闸门由秒脉冲电路产生,周期为两秒.当马达旋转时,如果计时器在2秒内计的得数是n,则每分钟应该转了n/(2x3)=n/6转,每分钟旋转(n/6)x60=10n转.故计数器就是每分钟转速,只不过差一个数量级.
(4)"吸片"采用电磁阀控制气路,这样适合流水线的工艺,一个气泵可同时带几个匀胶机工作,提高了效率.
(5)匀胶机的定时功能由时基电路556来完成,把556按单稳形式连接,改变RC常数,就可以改变两个匀胶时间.
(6)智能型调节匀胶时间,时间分别控制在1~360秒 (7)在安装结构上,采取了减振措施,保证了在运转时噪音很低,保证涂覆表面均 匀,保证通过调节转速调节涂覆厚度.
(8)匀胶机配真空泵使用.
性能指标 性能指标：
1, 转速和时间特点是 调速范围：300-8000转/分
匀胶时间：1-3600秒
2,LED数字显示,
转速稳定度：±1% ,胶的均匀性：±3% .
3,电源电压：220V/ 50Hz
4,电机功率：90W
5,适用：Φ5-Φ100mm硅片及其它材料等匀胶.
真空泵抽气速率 ≥60升/分
6,操作简便仪器尺寸：210×220×160 mm
7, 转速调节形式, 采用变频电源控制器调节
8, 烘胶板规格, ø200mm
9, 烘烤温度, ≤200℃ 10,
整体台面680×380×260m
