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*平面平晶是以光波干涉原理为基础，利用平晶的测量面与试件的被测量面之间所出现的干涉条纹来测量被测量面的平面度。高精度平面平晶，光学平面平晶，平面平晶，平晶 |
| 平面直径d(mm) | 基本参数 | ||||
| 1级 | 2级 | ||||
| d范围内 | 2/3d范围内 | d范围内 | 2/3d范围内 | ||
| 30 45 60 |
0.03 | ---- | 0.1 | 0.05 | |
| 80 100 150 |
0.05 | 0.03 | |||
| 200 250 300 |
0.08 0.1 0.15 |
0.05 0.05 0.09 |
0.12 0.15 0.2 |
0.06 0.08 0.1 | |
