C03 活塞式和涡旋式干泵
ECODRY M 系列活塞式干泵
Ecodry系列为欧瑞康莱宝最新推向市场的一种干式泵。它可以满足除半导体行仪以外的所有干式真空的需要。由于它相对于其他干式泵来说,结构简单,价合理,因此刚一面市、即受到广大格用户的欢迎。
Ecodry活塞式干泵的主要技术参数:
抽速:14m3/h~30m3/h
极限真空度:5.5×10-2mbar
排水蒸气能力:25mbar(最大)
Ecodrg活塞式干泵的主要特点:
1、结构简单,易于操作和维护;
2、工作过程中不产生粉尘;
3、耐粉尘,排水蒸气能力强;
4、低能耗,坚固耐用,可靠性高;
5、可以选配变频器增大抽速;
典型应用:质谱仪,电子显微镜,照明,镀膜,loadlock,无油高真空前级泵等。