全自动硅片超声波清洗机是由7个SUS304不锈钢清洗槽,自动上下料装置,龙门式机械手臂,超声波清洗系统,超声波纯水漂洗系统,上下抛动系统,管路系统及PLC电气控制系统,全封闭外饰板等组成。
主要用于清洗6″--8″硅片(切片后清洗)。
设备主要技术参数:
1、清洗料篮尺寸600*800mm(L*W)高度根据实际情况另定。
2、清洗料篮容量:每篮装12只小料篮,每个小料篮装25片。
3、生产节拍:3-10分钟每篮,清洗节拍可调,
4、班产量:(按照8小时计)》=28800片。
清洗工艺:
1、自动进料→超声碱液清洗(抛动)→超声碱液清洗(抛动)→超声碱液清洗(抛动)→超声纯水洗(抛动)→超声纯水漂洗(抛动)→超声纯水漂洗(抛动)→超声纯水漂洗(抛动)→自动出料
2、清洗剂:
参考使用的清洗剂为碱水,市水,纯水。