质量流量控制器
SEC-E40 系列
(制造单位：HORIBA STEC有限公司)
适用于从微小流量到大流量控制的低成本型号
概要
· 适用于广泛范围的流量控制：在同一系列中，适于从0.2SCCM到500SLM(N2)的流量控制
· 适用于广泛的用途：在普通产业市场中，拥有众多的销售业绩，引以为豪。
· 低成本：产品阵容中有力求具有成本优势的型号： SEC-E40MK3/E50MK3
技术规格
型号 |
SEC- (质量流量控制器) |
E40/E40MK3 |
E50/E50MK3 |
SEF- (质量流量计) |
E40 |
E50 |
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适用气体种类*1 |
非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He) |
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气体接触部材质 |
SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢 |
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阀门型号 |
非通电时 关闭 |
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标准流量量程 (N2相应F.S.) |
20/30 SLM |
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