| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 型号 | OTFC-1550 | ||
| 加工定制 | 否 | ||
| 真空室 | SUS304Ф1550*1800MM | ||
| 电源 | 3相 | ||
| 200v | |||
| 50/ 60Hz | |||
| 约120KVA | |||
| 水流量 | 180升/分以上 | ||
| 空气压力 | 0.5MPa以上 | ||
| 基板温度 | 350C | ||
| 排气时间 | 20分(大气压~1. 3X 10-3Pa) | ||
| 达到压力 | 7. 0X10-5Pa以下 | ||
| 排气系统 | 机械泵2个 扩散泵Polycold (或2个冷凝泵)275机械泵 爱德华配套罗茨泵 | ||
| 离子源 | 23 寸光驰RF离子源 | ||
| 蒸发源 | 2套日本电子16P双枪 | ||
| 水晶式膜厚计 | XTC/3 6点式水晶传感器 | ||
| 光学膜厚监控仪 | 波长范围 | 350nm to 1100nm |反射式/透射式 | |
| 光学膜厚控制 | HOM2- -R -VIS350A | ||
| 工件架转速 | 10rpm to 30rpm (可变) | ||
| 工件架 | 工件架：Ф1400 | ||
| 重量 | 11000kg | ||
| 电压 | 220 | ||
| 材质 | 铸铁 | ||
| 品牌 | 光弛 | ||
| 规格 | 500m00) x 7200m(D)X53700mmmm | ||
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