经过长期研究发现，当化学物质通过吸收能量（如热能、光子能量等），可以使自身的化学性质变得更加活跃甚至被裂解。当吸收的能量大于化学键键能，即可使得化学键断裂，形成游离的带有能量的原子或基团。我们通过提供UV-D波段内的真空紫外线（波长范围170-184.9nm），促使有机废气物质通过吸收该波段的光子，而该波段的光子能量大于绝大多数的化学键键能，使得有机物质得以裂解；再通过裂解产生的臭氧将其氧化成简单、无害、稳定的物质，如H2O和CO2等。
UV光解原理简述：在波长范围170nm-184.9nm（704 kj/mol - 647 kj/mol）高能紫外线的作用下，一方面空气中的氧气被裂解，然后组合产生臭氧；另一方面将恶臭气体的化学键断裂，使之形成游离态的原子或基团；同时产生的臭氧参与到反应过程中，使恶臭气体最终被裂解、氧化生成简单的稳定的化合物，如SO2、H2O等。
废气分子被裂解成原子、自由基后，再通过由有充分的氧气被高能UV光照射生成的臭氧将其氧化成稳定的小分子，如CO2、H2O等，从而达到废气净化的目的。
在满足有机废气分子键能低于UV光子能量以及含氧量充足条件下，根据风量情况配置合适的UV光解设备，可以保证达到《大气污染物排放限值》（DB44/27-2001）中的第二时段排放标准。
