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测试标准：
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系统名称 |
PAr |
GN2 |
PO2 |
PN2 |
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保压标准 |
24h≦1% |
24h≦1% |
24h≦1% |
24h≦1% |
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氦检标准 |
≦1*10-9 atm. cc/sec |
≦1*10-6atm. cc/sec |
≦1*10-9 atm. cc/sec |
≦1*10-9 atm. cc/sec |
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水分 |
H2O≦10ppb |
H2O≦10ppb |
H2O≦10ppb |
H2O≦10ppb |
|
氧分 |
O2≦10ppb |
O2≦10ppb |
/ |
O2≦10ppb |
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颗粒 |
≦1pcs/scf≦0.1μ m( |
≦1pcs/scf≦0.1μ m( |
≦1pcs/scf≦0.1μ m( |
≦1pcs/scf≦0.1μ m( |
