MODEL 3200系列是新型质量流量控制器，是3910系列的后续产品，已在半导体，液晶，燃烧，分析和生物等广泛领域得到验证。
它是一种适用于新Cofflock标准的高性能型号。
- 配备温度跟踪式电流差检测型流量传感器，实现高精度，高速响应
- 采用常闭阀门，方向操作安全
- 采用隔膜阀，减少死体积
- F.1. SCCM分钟流量支持（SR选项）
- 低压差兼容燃气控制（LP选项）
标准规格
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流量范围 （N2转换20°C / 1 ATM） |
1SCCM~20SLM（任意条件选择） | |
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| 传感器方式 | 热绕组传感器 | |
| 阀门方法 | 比例螺线管阀门（未通电时关闭） | |
| 控制范围 | 2~100％（F.S.） | |
| 响应速度 | 1秒内（±2％FS内） | |
| 准确性 | ±1％FS（15~35°C） | |
| 再现性 | ±0.2%F.S. | |
| 操作压差范围 | F.S.≤5SLM 50. 300 kPa（G） | |
| F. S.> 5 SLM 100. 300 kPa（G） | ||
| 选项：低压差规格（LP）可根据条件制造 | ||
| 可工作压力 | 300kPa（G）以下 | |
| 耐压 | 980kPa（G） | |
| He泄漏率（* 1） | 1 x 10-8 Pa.m3/s以下 | |
| 允许周围温度 | 0~50℃ | |
| 允许环境湿度 | 10~90%RH（无结露） | |
| 气体接触材料 | 车身SUS316L | |
| 隔膜SUS316 | ||
| 阀座PTFE | ||
| 电气连接 | Dsub 9针KFC标准（符合SEMI标准） | |
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流量设定 输入信号 |
0~5VDC （输入阻抗1MΩ以上） |
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| 流量输出信号 | 0~5 VDC（外部负载电阻250kΩ以上） | |
| 所需电源 | +15 VDC（±5％）100 mA，-15 VDC（±5％）200 mA | |
| 配件（车身尺寸） |
标准1 / 4F 900（9 / 16.18 UNF） 选项1/8 F900,1 / 4 UJR，Rc1 / 4等 |
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| 重量 | 约1000g | |
（* 1）不含渗透。
长期渗透引起的泄漏量（参考值）为1×10.6Pa•m3 / sec以下。
警告
流量范围附带的规格（流量范围，精度，响应性等）是N2或空气转换中的规格。
另外，生产规格条件是初级侧小于300kPa，次级侧向大气开放。
有关压力条件，请另行咨询。
尺寸图
