MCV和MCE联系紧密，采用内置气动截止阀，适用于高真空应用。将空气管线连接到截止阀上，防止在设定点为零时出现污染情况。
- 多功能。监控流速的同时控制压力；可选择另一台已知路程气体校准仪或者利用COMPOSER™气体编辑器确定自己的气体组成。
- 连接。利用以太网/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU和TCP/IP）或串行通讯选项，可将这款产品轻松整合到您的数字工业网络中。
- 耐用。MCE和MCV系列真空气体质量流量控制器可在不受损的情况下让液体暂时流动。
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半导体真空设备气体质量流量控制器 ALICAT MCV系列真空气体质量流量控制器
型号变体
- 阀门内置（确保与SEMI端口长度一致）型号（MCE系列）
- 阀门内置并加装气动截止阀的型号，适合真空应用（MCV系列）
- 腐蚀性气体型号（MCS系列，见下文）
另有：
- 阀门安装在外部的标准配置型号(MC系列)
艾里卡特MCV系列真空气体质量流量控制器采用内部安装的小型比例阀门控制较小流量，适用于非腐蚀性气体。MCV还配有一个下游用的气动截止阀。
MCV-0.5SCCM-D
MCV-1SCCM-D
MCV-2SCCM-D
MCV-5SCCM-D
MCV-10SCCM-D
MCV-20SCCM-D
MCV-50SCCM-D
MCV-100SCCM-D
MCV-200SCCM-D
MCV-500SCCM-D
MCV-1SLPM-D
MCV-2SLPM-D
MCV-5SLPM-D
MCV-10SLPM-D
MCV-20SLPM-D
