ABL1000气浮平台
1 专为高性能校准和装配应用设计
2 分辨率达2nm的直线编码器反馈
3 闭环分辨率可达1nm(使用A3200控制器)
4 全预加负载气浮导轨(空气轴承)
5 低噪音线性放大器
6 全部非接触设计
行程 ≤150 mm
精度 ±0.20 um
重复定位精度 ±0.05 um
直线度 ±0.25 um
平面度 ±0.25 um
ABL3600气浮平台
1 专为扫描显微镜/掩模/晶片检测独特应用设计
2 双轴,大孔,开放式结构
3 非接触直线编码器反馈,精度高
4 双直线电机驱动X Y 轴
5 所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
行程 ≤250 mm
精度 ±1 um
重复定位精度 ±0.20 um
直线度 ±0.50 um
平面度 ±1 um
ABL8000气浮平台
1 专为有效负载大,负载重心偏离机架中心线的应用设计
2 十字交叉结构,刚性稳定性引人注目,几何特性极好
3 所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
4 行程达1米
5 直线编码器或激光干涉仪反馈
6 可集成包括花岗岩的XY子系统
行程 ≤1000 mm
精度 ±0.50 um
重复定位精度 ±0.20 um
直线度 ±0.40 um
平面度 ±0.40 um
ABL9000气浮平台
1 世上最高性能的气浮平台,适用于晶片,平板显示,光学检测和加工等要求苛刻的场合
2 所有轴全预加负载气浮导轨(空气轴承)
3 行程达1.2米X1.2米
4 Y轴双直线电机驱动
5 直线编码器或激光干涉仪反馈
6 主动控制偏转
行程 ≤1200 mm
精度 ±0.50 um
重复定位精度 ±0.10 um
直线度 ±0.50 um
平面度 ±0.50 um
AHL9000直线电机平台
1 专为晶片检测，平板显示加工和光学检测及制造应用设计
2 扫描轴是空气轴承，步进轴是机械轴承
3 行程达1.2米X1.2米
4 双直线电机驱动步进轴
5 直线编码器或激光干涉仪反馈
行程 ≤350 mm
精度 ±1.0 um
重复定位精度 ±0.20 um
直线度 ±0.60 um
平面度 ±0.60 um
ABG10000气浮平台
1 气浮导轨实现超平滑运动
2 所有轴都预加载荷
3 下面轴采用双无刷直线伺服电机驱动
3 行程达1 m x 1 m
4 非接触直线编码器(光栅)
5 可选Z 轴,隔振,机械底座和控制箱
6 适用于高速拾取/放置,自动化装配,视觉检测,点胶机,高精度检测．
Travel 行程 ≤1000 mm
Accuracy 精度 ±2.0 um
Load 负载 84 kg
FiberCouple 130平台
1 同一条导轨上两个运动平台
2 独立或并列运动
3 2.5nm分辨率
4 非接触直线电机驱动
5 交钥匙的配套驱动和控制系统
6 适合辅助轴
VascuLathe ACS/ASR
1.直线平台与旋转平台的高度集成化
2.ER筒夹系统使材料箝位自动化
3.可选夹紧装置夹紧管
4 先进的控制系统结构
5.单或双主轴结构
6.可选择湿切割
7.拥有两项专利Patent No. 7,038,334 Patent No. 7,105,956
LaserTurn
1.直线平台与旋转平台的高度集成化
2.气动3爪卡盘或ER筒夹
3.较大的通孔可以使产品通过
4.可选择在前后加工的平台
5.直接驱动直线和旋转电机技术
PlanarHD气浮平台
1 最大2 m/s扫描速度和5g加速度的输出
2 最快的转向和最小的稳定时间
3 主动偏转控制
4 直线光栅或激光干涉仪反馈
5 行程1.2 m x 1.2 m
行程 ≤12 00 mm
精度 ±300 nm
重复定位精度 ±50 nm
分辨率 0.25 nm
APT 系列平转和倾斜组合转台
1 满足安全，国防建设和监测全球市场的需要
2 把先进的高精密机械与业界领先的控制技术结合在一起
3 惯性稳定
4 包含内置滑环，可连续旋转360 °
5 高定位精度和速度性能
6 易于安装和系统集成的集成电路
7 低维护，高可靠性提供最低的拥有成本
平转： 最高速度180 ° /秒，持续360 °
倾斜： 最高速度180 ° /秒，范围为± 95 °
位置分辨率：7.6弧秒
定位精度： 120弧秒
有效载荷： 35公斤
