扩散炉专供厂家---青岛晨立电子有限公司

产品价格：	100000/人民币
最后更新：	2012-11-06 15:26:15
产品产地：	青岛即墨市
发货地：	山东青岛即墨市 (发货期：当天内发货)
供应数量：	不限
有效期：	长期有效
最少起订：	1
浏览次数：	433

公司基本资料信息

青岛晨立电子有限公司
姜新诚先生销售
会员[试用会员产品]
邮件qingdao_chenli@126.com
手机13869885308
电话
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地址山东省青岛即墨市小李村工业园区

产品详细说明

产品描述

设备用途：用于大规模集成电路、太阳能电池片、电力电子、光    电器件、光导纤维等行业的氧化、扩散、烧结、合金等工艺。
设备特点：单元组合方式。根据工艺的不同，可以在主机的基础上配气源柜、超净工作台、悬臂推拉舟等。
主要技术指标：
★ 炉管数：      1～4管
★ 配工艺管口径：Φ90～360 mm (3～12英寸)
★ 恒温区长度： 760～1000 mm±1.0℃ (300～800℃)
760～1000 mm±0.5℃(800～1280℃)
★ 单点稳定性： ±1.0℃/24h (300～800℃)
±0.5℃/24h (800～1280℃)
★ 气源路数：    ≤7路，可配恒温源瓶、氢氧合成点火器
★ 气体控制：    浮子/质量流量计
★ 悬臂舟参数：速度：    20～1000 mm/min
                        最大行程：2000 mm
                        定位精度：±1 mm
                        最大载荷：17 Kg
★ 超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）
噪音：    ≤62dB（A）
振动：    ≤3μm

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