快速的响应时间,大流量范围,流动速率大于20 slpm。操作压力5-50 1500 psig psid,压降(最小压力下降取决于气体和范围)温度、环境/气:41°F(5到149到65°C),
输入电压:0到5伏直流电(200 K欧姆输入电阻)
输出信号0到5伏直流电到2000年欧姆(或者更高)负荷,5伏直流电±0.01 Vdc参考输出,不超过负荷2 K欧姆。
电器连接:卡连接器(镀金)或d型连接器(DA-15P)。
上海网磁电子有限公司(http://www.shwce.com)产品介绍
经销美国生产的各种半导体行业用高纯质量流量计:
AERA,Tylan,MKS,Brooks,UNIT,STEC等品牌;所有产品都备有库存,基本保证在一周之内交货,有雄厚的技术实力为依托,为客户量身定制符合生产需要的具体流量,大小精度控制,管道端接的配合以及电路板的连接形式等,定制适合国内生产设备各种气体控制用质量流量计。