最新研发蓝宝石外延片研磨抛光机，具备研磨抛光两个功能，能达到镜面效果，适合不同大小尺寸的蓝宝石衬底和外延片的研磨抛光。蓝宝石外延片抛光机|蓝宝石外延片研磨机是我司独家研发生产，具备先进的技术指标和参数，是国内数一数二的蓝宝石外延片研磨抛光机。
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工作原理：本研磨机为精密研磨抛光设备，被磨、抛材料放于研磨盘上，研磨盘逆时钟转动，修正轮带动工件自转，重力加压的方式对工件施压，工件与研磨盘作相对运转磨擦，来达到研磨抛光目的。
特 点：
1．采用间隔式自动喷液装置，可自由设定喷液间隔时间。
2．系列研磨机工件加压采用气缸加4的方式，压力可调； 抛光后工件表面光亮度高、无划伤、无料纹、无麻点、不塌边、平面度高等特点。抛光后工件表面粗糙度可达到Ra0.0002；平面度可控制在±0.002mm范围内。
3.可使工件加工厚度减薄到0.02mm厚而不会破碎。而且平行度与平面度可控制在±0.002mm范围内。减薄效率高，LED蓝宝石衬底每分钟可减薄48um。硅片每分钟可减薄250um。
型 号 YM-15TX YM-18TX YM-20TX YM-24LX
研磨盘规格 φ380×φ140×12t φ460×φ140×12t φ510×φ160×12t φ610×φ180×12t
最大工件尺寸 φ130mm φ170mm φ190mm φ240mm
陶瓷修正轮规格 φ178mm×φ140mm3个 φ220mm×φ180mm3个φ240mm×φ200mm3个 φ280mm×φ240mm3个
研磨盘转速 0~110rpm 0~110rpm 0~110rpm 0~110rpm
定时范围 99分59秒 99分59秒 99分59秒 99分59秒
主电机功率 1.5KW. 380V 3相 1.5KW. 380V3相 2.2KW. 380V 3相 3.7KW. 380V 3相
外形尺寸 750×850×1550 800×900×1550 950×1100×1600 1050×1200×1700
重 量： 650kg 800kg 950kg 1200kg
本蓝宝石外延片研磨抛光机属于通用型设备，不仅正对蓝宝石衬底，外延片，硅片等晶体还对金属工件有着同样的研磨抛光效果。
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