技术特点：
l 龙门式结构，两维分离
l 半导体泵浦激光器（光纤激光器）
l 伺服电机驱动滚珠丝杠传动
l 两路高速扫描振镜同步输出
l 专用控制软件
l 集尘除尘系统
l 自动上下料（选配）
技术参数：
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型号规格 |
SDF-Q |
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有效加工幅面 |
1.1×1.4m（或635mm×1245mm） |
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最大清边速度 |
200-4000mm2/s |
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重复定位精度 |
±50μm |
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清边区域带宽 |
10～15mm |
应用和市场：
薄膜太阳电池的四周边沿绝缘隔离区域的清边扫边加工。
